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      直流射頻磁控濺射薄膜沉積與高溫封接系統
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      真空涂覆設備
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      四靶柵網磁控濺射臺
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      可調式射頻復合濺射
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      矩形靶
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      多弧離子鍍結合非平衡磁控濺射設備
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      多功能膜沉積系統
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      大功率連鍍式濺射儀
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      程控鍍膜機
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      TFR-3-等離子體刻蝕及敷膜裝置
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